-
ST.CERA Anpassad halvledarutrustning Keramiska chuckar
Den kritiska processen inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA Anpassad halvledarutrustning Keramisk platta
De kritiska processerna inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA Anpassad halvledarkeramisk fokusring
Den kritiska processen inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA anpassad lastarm av 99,5 % aluminiumoxidkeramik
En keramisk ändeffektor/hanteringsarm installeras på en waferhanteringsrobot eller "ändeffektorer" och används för att transportera kiselskivor in i eller ut ur kassetter eller processkamrar.
Fördelarna med att använda keramik är minskad nedböjning på grund av hög böjhållfasthet, motståndskraft mot höga temperaturer och eliminering av metallföroreningar och partiklar. -
ST.CERA anpassad aluminiumoxidkeramisk ändeffektor
ST.CERA erbjuder ESD-beläggning och ESD-keramiskt material. Ändeffektorn är tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsfinish. Den kan nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1 och temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad halvledarkeramisk fokusring
De keramiska reservdelarna är tillverkade av högren aluminiumoxidkeramik (över 99,5 %), formad genom kall isostatisk pressning och sintrad under hög temperatur, sedan precisionsbearbetade och polerade. De kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad halvledarprecisions-aluminiumoxidkeramisk bussning
De keramiska reservdelarna är tillverkade av högren aluminiumoxidkeramik (över 99,5 %), formad genom kall isostatisk pressning och sintrad under hög temperatur, sedan precisionsbearbetade och polerade. De kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad aluminiumoxidkeramisk vakuumändeffektor
Detta är en keramisk ändeffektor/hanteringsarm av trågtyp som används under vakuum.
Den keramiska ändeffektorn/hanteringsarmen är "mer värmebeständig", "mindre avböjbar" och "lättare" i vikt jämfört med de i metall.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA Anpassade keramiska rör och stavar av 99,5 % aluminiumoxid
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad hantering av ändeffektorskivor av aluminiumoxidkeramisk
ST.CERA erbjuder ESD-beläggning och ESD-keramiskt material, ändeffektor/hanteringsarm med inbyggd ihålig kanal. Vi specialiserar oss på en teknik som formar en vakuumluftkanal inuti ett enda materialstycke utan att använda lim.
Det finns ingen risk för föroreningar, utgasning eller partiklar. ST.CERAs vakuumändeffektor/hanteringsarm med speciell beläggningsteknik är elektriskt isolerad. Vi kan även erbjuda ESD-keramiskt material som är elektriskt isolerat utan beläggning.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃. -
Komponenter för halvledarutrustning för ändeffektorer i aluminiumoxidkeramik
Förhindra partiklar som kan genereras från de avfasade eller vinklade kanterna och bakytan medan wafers transporteras eller är i kontakt med ändeffektorn/hanteringsarmen.
För styrningarna har ett mjukt material använts som inte skadar skivan.
Gallring är möjlig med ST.CERAs inbyggda vakuumkanalteknik som inte använder lim.
Möjligt att göra monteringshål och att ändra längden och bredden på basen där ändeffektorn/hanteringsarmen är monterad på roboten.
Montering av sensorer, skruvar och fästen finns som tillval.
Utformad för användning i atmosfärisk miljö.
-
Anpassad CNC-bearbetning av St.Cera keramisk ändeffektor
ST.CERA erbjuder en vakuumkeramisk ändeffektor/hanteringsarm med en inbyggd ihålig kanal. Vi specialiserar oss på en teknik som formar en vakuumluftkanal inuti ett enda materialstycke utan att använda lim.
Det finns ingen risk för föroreningar, utgasning eller partiklar. ST.CERAs vakuumändeffektorer/hanteringsarm med inbyggd kanal är hållbara och kan användas vid höga temperaturer. Dessutom kan våra tillverkningskostnader minskas genom att eliminera onödig montering.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
