-
Ändeffektor av högren aluminiumoxidkeramik för waferhanteringsrobotar
St.Ceras ändeffektor av aluminiumoxidkeramik är precisionsbearbetad från 99,8 % högrent Al₂O₃ med hjälp av avancerad 5-axlig CNC-sliputrustning. Våra tillverkningsmöjligheter inkluderar precisionsslipmaskiner och CNC-bearbetningscentra, vilket möjliggör komplexa geometrier med hög precision. Ändeffektorn har en tunn profil (så tunn som 1,5 mm) med en avsmalnande framkant för smidig waferinsättning. Materialet ger hög styvhet (Youngs modul 380 GPa), utmärkt slitstyrka och termisk stabilitet upp till 800 °C. Varje enhet är precisionsslipad för att uppnå en planhet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm och en ytfinish på Ra0,1, vilket säkerställer jämn waferkontakt och partikelfri drift i halvledar-FAB-miljöer. Finns i längder från 150 mm till 450 mm, med anpassade spetsgeometrier (kantgrepp, Bernoulli, plan) och monteringsflänsar för att passa OEM-robotar. Ytbehandlingsalternativen inkluderar överlappad, polerad eller ESD-avledande beläggning (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).
-
ST.CERA Anpassad Bernoulli-ändeffektor av aluminiumoxidkeramisk typ
Som en ledande tillverkare av keramiska ändeffektorer/hanteringsarmar har vi utvecklat en okonventionell ändeffektor/hanteringsarm som svarar mot marknadens behov. Bernoullis principbaserade keramiska ändeffektor/hanteringsarm som kan sväva och transportera wafern via luftflöde med minimal perifer kontakt.
-
ST.CERA Anpassad ESD Keramisk ändeffektor
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning med tillstånd av hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
-
ST.CERA Anpassad gripande effektor av aluminiumoxidkeramik
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
-
ST.CERA Anpassad aluminiumoxidkeramisk bricka-ändeffektor
Detta är en keramisk ändeffektor/hanteringsarm av trågtyp som används under vakuum.
Den keramiska ändeffektorn/hanteringsarmen är "mer värmebeständig", "mindre avböjbar" och "lättare" i vikt jämfört med de i metall.
-
ST.CERA Anpassad aluminiumoxidkeramisk vakuumändeffektor
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
-
ST.CERA anpassad aluminiumoxidkeramisk ändeffektor
ST.CERA erbjuder ESD-beläggning och ESD-keramiskt material. Ändeffektorn är tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsfinish. Den kan nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1 och temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad aluminiumoxidkeramisk vakuumändeffektor
Detta är en keramisk ändeffektor/hanteringsarm av trågtyp som används under vakuum.
Den keramiska ändeffektorn/hanteringsarmen är "mer värmebeständig", "mindre avböjbar" och "lättare" i vikt jämfört med de i metall.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad hantering av ändeffektorskivor av aluminiumoxidkeramisk
ST.CERA erbjuder ESD-beläggning och ESD-keramiskt material, ändeffektor/hanteringsarm med inbyggd ihålig kanal. Vi specialiserar oss på en teknik som formar en vakuumluftkanal inuti ett enda materialstycke utan att använda lim.
Det finns ingen risk för föroreningar, utgasning eller partiklar. ST.CERAs vakuumändeffektor/hanteringsarm med speciell beläggningsteknik är elektriskt isolerad. Vi kan även erbjuda ESD-keramiskt material som är elektriskt isolerat utan beläggning.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃. -
Komponenter för halvledarutrustning för ändeffektorer i aluminiumoxidkeramik
Förhindra partiklar som kan genereras från de avfasade eller vinklade kanterna och bakytan medan wafers transporteras eller är i kontakt med ändeffektorn/hanteringsarmen.
För styrningarna har ett mjukt material använts som inte skadar skivan.
Gallring är möjlig med ST.CERAs inbyggda vakuumkanalteknik som inte använder lim.
Möjligt att göra monteringshål och att ändra längden och bredden på basen där ändeffektorn/hanteringsarmen är monterad på roboten.
Montering av sensorer, skruvar och fästen finns som tillval.
Utformad för användning i atmosfärisk miljö.
-
Anpassad CNC-bearbetning av St.Cera keramisk ändeffektor
ST.CERA erbjuder en vakuumkeramisk ändeffektor/hanteringsarm med en inbyggd ihålig kanal. Vi specialiserar oss på en teknik som formar en vakuumluftkanal inuti ett enda materialstycke utan att använda lim.
Det finns ingen risk för föroreningar, utgasning eller partiklar. ST.CERAs vakuumändeffektorer/hanteringsarm med inbyggd kanal är hållbara och kan användas vid höga temperaturer. Dessutom kan våra tillverkningskostnader minskas genom att eliminera onödig montering.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
Antistatisk keramisk ändeffektor av aluminiumoxid
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
