Ändeffektor av högren aluminiumoxidkeramik för waferhanteringsrobotar

St.Ceras ändeffektor av aluminiumoxidkeramik är precisionsbearbetad från 99,8 % högrent Al₂O₃ med hjälp av avancerad 5-axlig CNC-sliputrustning. Våra tillverkningsmöjligheter inkluderar precisionsslipmaskiner och CNC-bearbetningscentra, vilket möjliggör komplexa geometrier med hög precision. Ändeffektorn har en tunn profil (så tunn som 1,5 mm) med en avsmalnande framkant för smidig waferinsättning. Materialet ger hög styvhet (Youngs modul 380 GPa), utmärkt slitstyrka och termisk stabilitet upp till 800 °C. Varje enhet är precisionsslipad för att uppnå en planhet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm och en ytfinish på Ra0,1, vilket säkerställer jämn waferkontakt och partikelfri drift i halvledar-FAB-miljöer. Finns i längder från 150 mm till 450 mm, med anpassade spetsgeometrier (kantgrepp, Bernoulli, plan) och monteringsflänsar för att passa OEM-robotar. Ytbehandlingsalternativen inkluderar överlappad, polerad eller ESD-avledande beläggning (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).

Specifikationer (baserat på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras tillverkningskapacitet):

Användningsområden:

• · Waferöverföring i vakuum- och atmosfärsrobotar
• · FAB-automationsändeffektorer för 200 mm/300 mm wafers
• · Hantering av tunna wafers (med ESD-tillval)

Tillverkningskapacitet:
Våra precisionsslipmaskiner och CNC-bearbetningscentraler möjliggör produktion av komplexa keramiska komponenter med:

• · Maximal bearbetningslängd: 1500 mm
• · Maximal ytterdiameter: 600 mm
• · Minsta innerdiameter: 0,2 mm
• · Maximal tjocklek: 100 mm

Kvalitetskontroll:
Rakhet 0,005 mm, vinkelräthet 0,005 mm, rundhet 0,002 mm, parallellitet 0,002 mm, koncentricitet 0,01 mm verifierad av CMM. Varje enhet är ultraljudsrengjord och förpackad i renrum av klass 100.