-
Storformats aluminiumoxidkeramisk platta för halvledar- och industriella armaturer
St.Cera tillverkar storformats keramiska plattor av 99,8 % högren aluminiumoxid (Al₂O₃) med maximala dimensioner upp till 1500 mm i längd och 600 mm i bredd. Våra precisionsslipningsmöjligheter uppnår en planhet på 0,003 mm över 100 mm och en parallellitet på 0,002 mm, vilket säkerställer en jämn ytkvalitet för applikationer med stora ytor. Tjocklek upp till 100 mm, ytjämnhet ner till Ra0,1. Dessa plattor fungerar som vakuumchuckbaser, värmeplattor, elektriska isoleringspaneler och processkammargolv inom halvledar-, display- och solcellstillverkning. Genomgående hål, försänkningar och kantprofilering finns tillgängliga.
-
ST.CERA Anpassad halvledarkeramisk bussning
Den kritiska processen inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA Anpassad halvledarutrustning Keramiska chuckar
Den kritiska processen inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA Anpassad halvledarutrustning Keramisk platta
De kritiska processerna inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA Anpassad halvledarkeramisk fokusring
Den kritiska processen inom halvledarfältet måste utföras i renrum, särskilt för de komponenter som ska användas under förhållanden med hög temperatur, vakuum och korrosiva gaser. Keramik kan bibehålla hög stabilitet i komplicerade fysiska och kemiska miljöer.
-
ST.CERA anpassad halvledarkeramisk fokusring
De keramiska reservdelarna är tillverkade av högren aluminiumoxidkeramik (över 99,5 %), formad genom kall isostatisk pressning och sintrad under hög temperatur, sedan precisionsbearbetade och polerade. De kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
ST.CERA anpassad halvledarprecisions-aluminiumoxidkeramisk bussning
De keramiska reservdelarna är tillverkade av högren aluminiumoxidkeramik (över 99,5 %), formad genom kall isostatisk pressning och sintrad under hög temperatur, sedan precisionsbearbetade och polerade. De kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
-
Komponenter för halvledarutrustning för ändeffektorer i aluminiumoxidkeramik
Förhindra partiklar som kan genereras från de avfasade eller vinklade kanterna och bakytan medan wafers transporteras eller är i kontakt med ändeffektorn/hanteringsarmen.
För styrningarna har ett mjukt material använts som inte skadar skivan.
Gallring är möjlig med ST.CERAs inbyggda vakuumkanalteknik som inte använder lim.
Möjligt att göra monteringshål och att ändra längden och bredden på basen där ändeffektorn/hanteringsarmen är monterad på roboten.
Montering av sensorer, skruvar och fästen finns som tillval.
Utformad för användning i atmosfärisk miljö.
-
Högtemperaturbeständiga precisionskomponenter av aluminiumoxidkeramik
Keramiska strukturdelar är en allmän term för olika komplicerade former av keramiska delar. De formas genom torrpressning eller kall isostatisk pressning, sintras under hög temperatur och bearbetas sedan med precision.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 400 ℃~800 ℃.
-
Högprecisions- och komplexkeramik för aluminiumoxidkeramiska strukturkomponenter
Keramiska strukturdelar är en allmän term för olika komplicerade former av keramiska delar. De formas genom torrpressning eller kall isostatisk pressning, sintras under hög temperatur och bearbetas sedan med precision.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 400 ℃~800 ℃.
-
Reservdelar för mekanisk utrustning av aluminiumoxidkeramiska strukturkomponenter
Keramiska strukturdelar är en allmän term för olika komplicerade former av keramiska delar. De formas genom torrpressning eller kall isostatisk pressning, sintras under hög temperatur och bearbetas sedan med precision.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 400 ℃~800 ℃.
-
Aluminiumoxid keramisk remsa isolerande keramiska strukturkomponenter
Keramiska strukturdelar är en allmän term för olika komplicerade former av keramiska delar. De formas genom torrpressning eller kall isostatisk pressning, sintras under hög temperatur och bearbetas sedan med precision.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 400 ℃~800 ℃.
