ST.CERA anpassad halvledarprecisions-aluminiumoxidkeramisk bussning

Kort beskrivning:

De keramiska reservdelarna är tillverkade av högren aluminiumoxidkeramik (över 99,5 %), formad genom kall isostatisk pressning och sintrad under hög temperatur, sedan precisionsbearbetade och polerade. De kan uppfylla alla strikta krav för halvledarutrustning med sina egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, låg värmeutvidgning och isolering.

Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.

Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.