ESD-säkra aluminiumoxidkeramiska delar för hantering av statiskt känsliga wafers
St.Ceras ESD-säkra (elektrostatiska urladdnings) keramiska delar av aluminiumoxid är tillverkade av 99,8 % högrent Al₂O₃ med en skräddarsydd ytresistivitet på 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat, uppnådd genom en patentskyddad dopnings- eller beläggningsprocess. Dessa delar avleder effektivt statisk laddning och förhindrar elektrostatisk skada på känsliga halvledarskivor och komponenter. Basmaterialet behåller sin höga böjhållfasthet (361 MPa), hårdhet (16 GPa) och dielektriska hållfasthet (15×10⁶ V/m). ESD-säkra keramiska delar inkluderar ändeffektorer, lyftstift, styrskenor och anpassade fixturer för FAB-automation.
Specifikationer(baserat på 99,8 % Al₂O₃ med ESD-behandling):
| Egendom | Värde |
| Basmaterial | 99,8 % aluminiumoxid |
| Ytresistivitet (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk expansion (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Max driftstemperatur | 800°C |
| Dielektrisk styrka (bulk) | 15×10⁶ V/m |
Obs: ESD-ytresistivitet anges inte i de medföljande materialegenskaperstabellerna. Ovanstående intervall är industristandard för dissipativ keramik. Kontakta oss för testrapporter.
Användningsområden:
● ESD-säkra ändeffektorer för waferöverföring
● Jordningsstift och ESD-fixturer i FAB-utrustning
● Testuttag för statiskt känsliga enheter
● Renrumsverktyg där statisk kontroll är avgörande
Tillverkning och kvalitet:
Standardbearbetning av aluminiumoxid + ESD-ytbehandling → ytresistivitet mätt enligt ANSI/ESD STM11.11. Varje del är 100 % testad med en koncentrisk ringelektrod.
Fördelar:
● Förhindrar ESD-relaterad avkastningsförlust
● Bibehåller keramikens mekaniska styrka och kemiska resistens
● Ingen partikelgenerering från statisk urladdning
