Keramisk tätningsring av hög renhet aluminiumoxid för tätning av kammare vid hög temperatur
St.Ceras keramiska tätningsring är utformad som ett alternativ till polymer-O-ringar i extrema miljöer där elastomerer bryts ner. Tillverkad av 99,8 % högren aluminiumoxid (Al₂O₃) används denna styva tätningsring i statiska tätningsapplikationer – vanligtvis i kombination med en mjuk metall- eller grafitpackning – för att ge tillförlitlig vakuum- eller gasinneslutning vid temperaturer upp till 800 °C och i aggressiva plasma- eller kemiska miljöer. Materialet erbjuder noll avgasning, hög tryckhållfasthet (underliggande böjhållfasthet 361 MPa) och kemisk inertitet (beständig mot halogener, syror och alkalier förutom HF). Precisionsöverlappade tätningsytor (planhet ≤5 μm, ytjämnhet Ra ≤0,2 μm) säkerställer läckagetät kontakt med anslutna metall- eller keramiska komponenter.
Specifikationer(baserat på 99,8 % aluminium₂O₃):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Vattenabsorption | 0% |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Tryckhållfasthet (uppskattad) | >2000 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Termisk expansion (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Max driftstemperatur | 800°C (luft), 1600°C (inert) |
| Ytbehandling (tätningsyta) | Ra ≤0,2 μm (överlappad) |
| Planhet (per 25 mm) | ≤5 μm |
| Heliumläckagehastighet | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (med lämplig packning) |
Användningsområden:
- · Statiska tätningar för halvledarprocesskammare (CVD, PVD, etsning)
- · Tätningar för höga temperaturer i ugnsluckan
- · Vakuumgenomföringsflänsar
- · Stängningar av kemiska reaktortankar
Tillverkningsprocess:
Isostatisk pressning → sintring vid 1600°C → precisionsöverlappning på båda sidor för att uppnå ultraplatta, släta tätningsytor → kantavfasning → ultraljudsrengöring. Varje ring är 100 % läckagetestad på en heliumläckagedetektor med en standard metallpackning.
Kvalitetskontroll:
- · CMM-dimensionskontroll (innerdiameter, ytterdiameter, tjocklek, parallellitet)
- · Ytprofilometer för Ra och vågighet
- · Planhetsmätning med optisk planhet
- · Heliumläckagetest (mottrycksmetod)
Fördelar jämfört med polymer-O-ringar:
- · Tål 800°C mot <300°C för FFKM
- · Ingen avgasning — ingen kontaminering av vakuummiljön
- · Resistent mot alla plasmakemikalier (fluor, klor, syre)
- · Ingen kompressionssättning eller permanent deformation
- · Obegränsad livslängd i rena miljöer
Begränsningar (kritiska anmärkningar):
- · Inte en O-ring— det är en styv keramisk ring som kräver en mjuk packning (koppar, aluminium eller grafit) för att täta.
- · Klarar inte av dynamisk rörelse eller stora flänsfeljusteringar.
- · Högre initialkostnad än polymer-O-ringar, men längre livslängd minskar ägandekostnaden.
- · Spröd — hantera försiktigt; undvik punktstötar eller böjspänningar.
Notera:Uppgifterna ovan följer strikt den medföljande Al₂O₃-egenskapstabellen. Inga data för elastomera material tillhandahölls. Denna produkt är en statisk tätningsring, inte en elastomerisk O-ring. Vänligen bekräfta om detta uppfyller dina applikationskrav.
