Ändeffektor av aluminiumoxidkeramisk material med integrerade vakuumkanaler
St.Ceras vakuumändeffektor av aluminiumoxid integrerar precisionsbearbetade vakuumkanaler och sughål direkt i kroppen av 99,8 % hög renhet av aluminiumoxid. Denna design eliminerar externa vakuumdynor, vilket möjliggör direkt waferupptagning med enhetlig hållkraft. Materialets höga böjhållfasthet (361 MPa) och hårdhet (16 GPa) säkerställer långsiktig dimensionsstabilitet under upprepade vakuumcykler. Planheten över dynans yta bibehålls inom 10 μm, vilket förhindrar waferspänning och brott. Vakuumportar är placerade på den bakre monteringsflänsen för enkel integration med OEM-robotarmar.
Specifikationer(baserat på 99,8 % Al₂O₃):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Termisk expansion | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Platthet av dynan | ≤10 μm |
| Vakuumkanalens bredd | 0,5–2,0 mm |
| Max driftstemperatur | 800°C |
Användningsområden:
● Vakuumupptagning av tunna eller skeva skivor
● Direkt hantering av wafers utan kantgrepp
● Överföring av solceller och LED-substrat
Tillverkning:
Sintrad aluminiumoxidämne → 5-axlig CNC-borrning av vakuumkanaler och hål → ytlappning → ultraljudsrengöring → heliumläckagetest. Varje effektor är 100 % flödestestad för vakuumuniformitet.
Fördelar:
● Inga externa vakuumdynor (minskar partikelkällor)
● Jämnt hålltryck förhindrar märkning av skivor
● Kemiskt inert och renrumskompatibel
