Detta är en keramisk ändeffektor/hanteringsarm av trågtyp som används under vakuum.
Den keramiska ändeffektorn/hanteringsarmen är "mer värmebeständig", "mindre avböjbar" och "lättare" i vikt jämfört med de i metall.
Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.
Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den nå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.
