Waferhantering Keramisk arm Precisionskeramiska komplexa former
Kort beskrivning:
Förhindra partiklar som kan genereras från de avfasade eller vinklade kanterna och bakytan medan wafers transporteras eller är i kontakt med ändeffektorn/hanteringsarmen.
För styrningarna har ett mjukt material använts som inte skadar skivan.
Gallring är möjlig med ST.CERAs inbyggda vakuumkanalteknik som inte använder lim.
Möjligt att göra monteringshål och att ändra längden och bredden på basen där ändeffektorn/hanteringsarmen är monterad på roboten.
Montering av sensorer, skruvar och fästen finns som tillval.