Storformats aluminiumoxidkeramisk platta för halvledar- och industriella armaturer
St.Cera tillverkar storformats keramiska plattor av 99,8 % högren aluminiumoxid (Al₂O₃) med maximala dimensioner upp till 1500 mm i längd och 600 mm i bredd. Våra precisionsslipningsmöjligheter uppnår en planhet på 0,003 mm över 100 mm och en parallellitet på 0,002 mm, vilket säkerställer en jämn ytkvalitet för applikationer med stora ytor. Tjocklek upp till 100 mm, ytjämnhet ner till Ra0,1. Dessa plattor fungerar som vakuumchuckbaser, värmeplattor, elektriska isoleringspaneler och processkammargolv inom halvledar-, display- och solcellstillverkning. Genomgående hål, försänkningar och kantprofilering finns tillgängliga.
Specifikationer (baserat på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras tillverkningskapacitet):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Dielektrisk styrka | 15×10⁶ V/m |
| Maxlängd | 1500 mm |
| Maxbredd | 600 mm |
| Max tjocklek | 100 mm |
| Planhet (per 100 mm) | 0,003 mm |
| Parallellism | 0,002 mm |
| Ytbehandling | Ra0.1 (slipad/polerad) |
| Max driftstemperatur | 1600°C |
Användningsområden:
- · Vakuumchuckbasplattor för stora wafers och paneler
- · Värmeplattor för termisk processutrustning
- · Elektriska isoleringspaneler i högspänningssystem
- · Golv och foderplattor i processkammaren
Tillverkningsprecision:
Rakhet: 0,005 mm, vinkelräthet: 0,005 mm, verifierad med laserinterferometer.
Fördelar jämfört med metallplattor:
- · Ingen metallisk kontaminering – avgörande för halvledarprocesser
- · Ingen avgasning – perfekt för vakuummiljöer
- · Överlägsen slitstyrka och kemikaliebeständighet
Anpassning:
Anpassade hålmönster, kantprofiler, trappsteg och metalliserade monteringsområden finns tillgängliga.
