Teflonbelagd keramisk ändeffektor – Non-stick yta för känslig waferhantering
St.Ceras Teflon (PTFE)-belagda keramiska ändeffektor kombinerar ett höghållfast aluminiumoxidsubstrat med en enhetlig PTFE-beläggning med låg friktion (tjocklek 15–30 μm). Beläggningen ger en extremt låg friktionskoefficient (≤0,1), utmärkt kemisk resistens och icke-klibbiga egenskaper, vilket förhindrar wafervidhäftning och eliminerar kontaminering på baksidan. Det underliggande keramiska substratet (99,8 % Al₂O₃) erbjuder hög böjhållfasthet (361–1000 MPa), slitstyrka och termisk stabilitet upp till 260 °C (beläggningsgräns). Denna ändeffektor är idealisk för hantering av ömtåliga, tunna eller klibbiga wafers (t.ex. efter fotoresistbeläggning eller kemiska processer).
Specifikationer (baserat på 99,8 % Al₂O₃-substrat med PTFE-beläggning):
| Egendom | Värde |
| Substratmaterial | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Beläggningsmaterial | PTFE (Teflon) |
| Beläggningstjocklek | 15–30 μm |
| Friktionskoefficient (belagd) | ≤0,1 |
| Substratets böjhållfasthet (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Substrathårdhet (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Substratdensitet | 3,93 g/cm³ |
| Max driftstemperatur (beläggningsgräns) | 260°C |
| Ytjämnhet (före beläggning) | Ra ≤0,4 μm |
| Dielektrisk styrka (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Obs: PTFE-beläggning begränsar den maximala temperaturen till 260 °C; för tillämpningar med högre temperaturer, överväg obelagd keramik eller andra beläggningar.
Användningsområden:
- · Hantering av wafers efter fotoresistbeläggning (klibbiga ytor)
- · Överföring av tunna eller ömtåliga skivor (förhindrar att de fastnar)
- · Verktyg för halvledarinspektion och mätning
- · Renrumsautomation där partikelkontaminering måste minimeras
Tillverkningsprocess:
Sintrat och precisionsslipat keramiskt substrat → ytuppruggning (plasmaetsning eller sandblästring) → PTFE-sprutbeläggning → värmehärdning vid 380 °C → slutlig inspektion. Varje ändeffektor kontrolleras med avseende på beläggningstjocklek (virvelström), vidhäftning (tvärsnittstest ASTM D3359) och friktionskoefficient.
Kvalitetskontroll:
100 % visuell inspektion för porer eller bubblor; beläggningstjockleksjämnhet inom ±5 μm; ingen delaminering efter 90° böjningstest på vittnesbit. Måttkontroll enligt OEM-tolerans (längd ±0,05 mm, planhet ≤0,1 mm).
Fördelar jämfört med obelagda eller andra beläggningar:
- · Non-stick-yta förhindrar att skivorna vidhäftar och går sönder
- · Lägsta friktionskoefficient bland keramiska beläggningar
- · Utmärkt kemisk resistens (syror, baser, lösningsmedel)
- · Minskar partikelgenerering genom att förhindra materialöverföring
Begränsningar (anmärkningar om materialavvikelse):
PTFE-beläggningen härleds inte från de medföljande tabellerna för materialegenskaper (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Substrategenskaperna följer strikt det medföljande databladet (99,8 % Al₂O₃). Beläggningsegenskaperna baseras på PTFE-specifikationer enligt industristandard, eftersom inga beläggningsdata tillhandahölls. För applikationer över 260 °C rekommenderas en obelagd keramisk ändeffektor.*
Anpassning:
Finns i längder 150–1500 mm, spetsformer (kantgrepp, Bernoulli, platt), monteringsflänsmönster enligt OEM-ritning. Delvis beläggning (endast kontaktytor) eller full täckning som tillval.
Begär ett prov för vidhäftnings- och friktionstestning.
