Aluminiumoxidvakuumchuck för precisionsslipning och tärning
St.Ceras vakuumchuck av aluminiumoxid är tillverkad av 99,8 % högrent Al₂O₃ med precisionsbearbetade vakuumspår. Vår precisionsslipningskapacitet uppnår en planhet på 0,003 mm och en parallellitet på 0,002 mm, vilket säkerställer vridfri fixering av wafern under tärning, baksidesslipning och inspektion. Materialet erbjuder hög böjhållfasthet (361 MPa), hårdhet (16 GPa) och termisk stabilitet upp till 800 °C. Finns i runda format upp till 600 mm ytterdiameter (OD) och rektangulära former upp till 1500 mm längd. Vakuumspåren är specialdesignade (koncentriska, radiella eller rutmönster) för att passa specifika processkrav. Varje chuck inspekteras med laserinterferometer och levereras med en planhetsverifieringsrapport.
Specifikationer (baserat på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras tillverkningskapacitet):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Ytterdiameter (max) | 600 mm |
| Tjocklek (max) | 100 mm |
| Längd (max) | 1500 mm |
| Flathet | 0,003 mm |
| Parallellism | 0,002 mm |
| Ytbehandling | Ra0,1 |
| Max driftstemperatur | 800°C |
Användningsområden:
- · Skivning och ritning av wafers (200 mm/300 mm och större)
- · Baksideslipning av tunna skivor
- · Optisk inspektion och sondering
- · Hantering av stora mängder substrat
Tillverkningsprecision:
- · Rakhet: 0,005 mm
- · Vinkelrätt: 0,005 mm
- · Rundhet: 0,002 mm
- · Koncentricitet: 0,01 mm
