Aluminiumbaserad standardvakuumchuck – hög styvhet för precisionsbearbetning
Denna aluminiumbaserade vakuumchuck är tillverkad av 99,8 % Al₂O₃, vilket ger en slät, icke-porös yta med anpassade vakuumspårmönster. Den ger exceptionell styvhet (Youngs modul 380 GPa) och planhet (≤3 μm), vilket gör den idealisk för precisionsslipning, läppning och tärning av halvledarskivor och optiska komponenter. Materialets höga värmeledningsförmåga (32 W/m·k) säkerställer temperaturjämnhet under bearbetningen.
Specifikationer(baserat på 99,8 % aluminium₂O₃):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Värmeledningsförmåga | 32 W/m·k |
| Flathet | ≤3 μm (över 200 mm) |
| Ytjämnhet (chucksidan) | Ra ≤0,4 μm |
| Max driftstemperatur | 800°C |
Användningsområden:
- · Baksidesmalning av skivor (grov och fin)
- · Precisionsskärning av spröda material
- · Överlappning av keramiska underlag
- · Polering av optiska linser
Tillverkning:
Precisionsöverlappning av båda sidor → diamantspårning (valfritt) → kantrarundning → ultraljudsrengöring → 100 % planhetskontroll med laserinterferometer.
Afördelar:
- · Stelt stöd minimerar nedböjning under belastning
- · Ingen partikelgenerering från porös struktur
- · Lätt att rengöra (kompatibel med lösningsmedel och avtorkningsmedel)
- · Anpassningsbara vakuumspår (koncentriska, radiella, anpassade mönster)
Tillgängliga storlekar:
Rund: 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm; fyrkantig/rektangulär på begäran.
Vi erbjuder även metallbaserade versioner för högre mekanisk hållfasthet.
