Keramisk kärna av hög renhet aluminiumoxid för halvledararmaturer
St.Ceras keramiska kärna av aluminiumoxid är precisionsformad av 99,8 % högrent Al₂O₃, vilket ger exceptionell dielektrisk styrka (15×10⁶ V/m), termisk stabilitet upp till 1600 °C och krypmotstånd under belastning. Dessa kärnor används som strukturella komponenter i högtemperaturprocessarmaturer, värmebaser, plasmakammarfoder och elektriska isolatorer. Materialets höga hårdhet (16 GPa) och låga vattenabsorption (0 %) säkerställer långsiktig tillförlitlighet i tuffa miljöer.
Specifikationer(baserat på 99,8 % aluminium₂O₃):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Sprickstyrka | 3–4 MPa·m¹/² |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Värmeledningsförmåga | 32 W/m·k |
| Termisk expansion (25–1000 °C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrisk styrka | 15×10⁶ V/m |
| Specifikt motstånd | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Max driftstemperatur | 1600°C |
Användningsområden:
- · Värmekärna för epitaxiella reaktorer
- · Plasmakammarfoder och täckplattor
- · Högspänningsisolatorer
- · Fixturbas för waferhanteringsrobotar
Tillverkning:
Isostatisk pressning → grön bearbetning → sintring vid 1600°C → CNC-slipning till slutliga dimensioner (±0,01 mm tolerans). Varje kärna inspekteras med CMM och ultraljudsdetektering av fel.
Kvalitetssäkring:
ISO 9001:2015-certifierad. Färgpenetreringstest för ytsprickor; dielektrisk hållfasthetstest enligt ASTM D149.
Afördelar jämfört med andra keramiktyper:
- · Högre dielektrisk hållfasthet än zirkoniumoxid (15 vs <10×10⁶ V/m)
- · Lägre kostnad än SiC för icke-plasmaapplikationer
- · Utmärkt kemisk resistens mot halogener (förutom HF)
Anpassade former:
Cylindrar, fyrkantiga stänger, plattor eller komplexa geometrier. Minsta detaljstorlek 0,5 mm.
Kontakta oss för anpassade kärndesigner och support för termisk simulering.
