Anpassade ST.CERA-anpassade lastararmar av 99,5 % aluminiumoxidkeramik, tillverkare och leverantörer

ST.CERA Anpassad 99,5% Alumina Keramisk Lastarm Utvald Bild

ST.CERA anpassad lastarm av 99,5 % aluminiumoxidkeramik

Kort beskrivning:

En keramisk ändeffektor/hanteringsarm installeras på en waferhanteringsrobot eller "ändeffektorer" och används för att transportera kiselskivor in i eller ut ur kassetter eller processkamrar.
Fördelarna med att använda keramik är minskad nedböjning på grund av hög böjhållfasthet, motståndskraft mot höga temperaturer och eliminering av metallföroreningar och partiklar.

Skicka e-post till oss

Produktinformation

Produktetiketter

Produktinformation

Med egenskaper som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering kan keramik användas i många typer av halvledarproduktionsutrustning under lång tid med hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas.

Tillverkad av högrent aluminiumoxidpulver, bearbetad genom kallisostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsbehandling, kan den keramiska ändeffektorn uppnå en dimensionstolerans på ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.

Den keramiska ändeffektorn med kavitet kan arbeta i en hög temperatur på 800 ℃ tack vare unik keramisk bindningsteknik.

Här är egenskaperna hos aluminiumoxidkeramik med olika renhet.

produktparametrar

ST.CERA CO., LTD.

Materialdatablad

Fastigheter	Enhet	Aluminiumoxid (Al2O3)
Fastigheter	Enhet	99 % Al₂O₃	99,5 % Al₂O₃	99,8 % Al₂O₃	99,9 % Al₂O₃
Färg	—	Vit	Elfenben	Elfenben	Elfenben
Densitet	g/cm3	3,88	3,90	3,93	3,95
Vattenabsorption	%	0	0	0	0
Kornstorlek	μm	2~5	2~5	2~5	2~4
Böjhållfasthet	MPa	350	360	361	350
Sprickstyrka	MPa·m³	3~4	3~4	3~4	3~4
Vickers hårdhet	GPa	14	15,5	16	16
Youngs elasticitetsmodul	GPa	370	370	380	390
Värmeledningsförmåga	V/m·k	28	32	32	34
Termisk expansionskoefficient	10-6/℃	7.2	7.2	7.2	7.2
Dielektrisk konstant	—	9,5	9.6	9.6	9,9
Dielektrisk förlustvinkel	—	0,0001	0,0001	0,0001	0,0001
Dielektrisk styrka	V/m	15×106	15×106	15×106	15×106
Specifikt motstånd	Ω ·mm²/m	﹥ 1014	﹥ 1014	﹥ 1014	﹥ 1014

Produktionsprocess

Spraygranulering → keramiskt pulver → Formning → Blanksintring → Grovslipning → CNC-bearbetning → Finslipning → Dimensionsinspektion → Rengöring av packning

Viktiga detaljer

Ursprungsort: Hunan, Kina
Material: Aluminiumoxidkeramik
HS-kod: 85471000
Leveransförmåga: 100 st per månad
Ledtid: 3–4 veckor
Förpackning: Wellpapp, skum, kartong
Övrigt: Anpassningstjänst tillgänglig

Tidigare: ST.CERA Anpassad halvledarkeramisk fokusring

Nästa: ST.CERA anpassad aluminiumoxidkeramisk ändeffektor