Kiselkarbid (SiC) keramisk ändeffektor – hög styvhet för hantering av högtemperaturskivor
St.Ceras SiC-keramiska ändeffektor är tillverkad av högren kiselkarbid (SiC-halt 99,72 %, fritt Si 0,05 %) med hjälp av S1111-batchmaterialet. Den erbjuder exceptionella mekaniska egenskaper: böjhållfasthet 449 MPa (uppmätt), elasticitetsmodul 457 GPa (uppmätt) och Vickers-hårdhet 25–28 GPa (typisk). Den låga densiteten (3,10–3,15 g/cm³, typisk) ger en hög specifik styvhet, idealisk för höghastighetswaferöverföringsrobotar. Med en värmeledningsförmåga på 120–150 W/m·K (typisk) och en värmeutvidgningskoefficient på 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (typisk) avleder denna ändeffektor effektivt värme och bibehåller dimensionsstabilitet vid hantering vid höga temperaturer (upp till 1600–1700 °C, utan belastning). Den svarta/grå färgen och noll vattenabsorption säkerställer kompatibilitet med renrum.
Specifikationer(baserat på tillhandahållen SiC S1111 testrapport och typiska värden)):
| Egendom | Värde |
| Material | SiC (99,72 % SiC, 0,05 % fritt kisel) |
| Färg | Svart/Grå |
| Densitet | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Vattenabsorption | 0% |
| Böjhållfasthet | 449 MPa (genomsnitt) |
| Sprickstyrka | 3,12 MPa·m¹/² (genomsnitt) |
| Elasticitetsmodul | 457 GPa |
| Vickers hårdhet | 25–28 GPa |
| Värmeledningsförmåga (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000 °C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Max användningstemperatur (utan belastning) | 1600–1700°C |
Användningsområden:
● Hantering av högtemperaturskivor (post-annealing, RTP, epitaxi)
● Plasmaetsningskammare som kräver hög erosionsbeständighet
● Höghastighetsöverföringsrobotar (lätta, hög styvhet)
Tillverkning:
Sintring av SiC-pulver → precisionsslipning av armprofil och monteringsfunktioner med CNC → ytpolering → ultraljudsrengöring. 100 % dimensionsinspektion och heliumläckagetest för vakuumapplikationer.
Kvalitetskontroll:
● CMM-inspektion av längd, bredd och planhet
● Böjhållfasthetstest per batch (enligt testrapportstandard)
● Visuell inspektion under mikroskop för ytdefekter
Fördelar jämfört med aluminiumoxid eller metall:
● 2× högre elasticitetsmodul (457 vs ~380 GPa för aluminiumoxid) – mindre nedböjning
● 3 gånger högre värmeledningsförmåga – snabbare värmeavledning
● Tål >1600 °C jämfört med aluminiumoxidens 800 °C i luft
● Lägre densitet än stål – 40 % viktminskning
Anpassning:
Längder 150–450 mm, spetsformer (kantgrepp, Bernoulli, platt), monteringsflänsmönster enligt OEM-ritning.
*Alla mekaniska data ovan kommer från den medföljande testrapporten (batch S1111). Termiska värden och hårdhetsvärden är typiska för denna SiC-kvalitet; vänligen kontakta oss för batchspecifik certifiering.*
