Högren aluminiumoxidkeramisk robotarm för waferhantering
St.Ceras robotarm av aluminiumoxidkeramik är precisionstillverkad av 99,8 % högrent Al₂O₃ (aluminiumoxid). Den kombinerar exceptionell böjhållfasthet (361 MPa), hög hårdhet (16 GPa) och låg densitet (3,93 g/cm³), vilket resulterar i en lätt men ändå styv arm för överföring av halvledarskivor. Materialets värmeutvidgningskoefficient (7,2×10⁻⁶/°C) matchar kisel noggrant, vilket minimerar termisk obalans under bearbetning.
Specifikationer (baserat på 99,8 % Al₂O₃):
| Egendom | Värde |
| Färg | Elfenben |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Youngs modul | 380 GPa |
| Värmeledningsförmåga | 32 W/m·k |
| Termisk expansion | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Dielektrisk styrka | 15×10⁶ V/m |
Användningsområden:
- Vakuumöverföringsrobotar för wafers (200 mm/300 mm)
- Atmosfäriska hanteringssystem
- Ändeffektorarmar för FAB-automation
Tillverkningsprocess:
Isostatisk pressning → grön bearbetning → sintring vid 1600°C → CNC-precisionsslipning → ultraljudsrengöring → Renrumsförpackning av klass 100. Varje arm är 100 % inspekterad av CMM för planhet (±0,01 mm) och ytjämnhet (Ra ≤0,4 μm).
Kvalitetskontroll:
St.Cera är certifierat enligt ISO 9001:2015. Vi utför penetrationstestning för mikrosprickor, trepunktsböjning för böjhållfasthet och dielektrisk hållfasthetstest enligt ASTM D149.
Fördelar jämfört med metallarmar:
- 50 % lättare än rostfritt stål
- Ingen galvanisk korrosion
- Lägre partikelgenerering (≤0,05 partiklar/cm²)
- ESD-säker beläggning tillgänglig (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat)
Anpassning:
Längder från 150 mm till 450 mm, spetsformer (kantgrepp, Bernoulli, vakuum) och monteringsflänsmönster enligt OEM-ritningar. Prototyper på 2 veckor.
För bulkbeställningar, vänligen begär en offert.
