Med egenskaper av hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering, kan keramik fungera i många typer av halvledarproduktionsutrustning med tillstånd av hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid
Med egenskaper av hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering, kan keramik fungera i många typer av halvledarproduktionsutrustning med tillstånd av hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.
Detta är en keramisk ändeffektor/hanteringsarm av bricktyp som används under vakuum.
Keramisk ändeffektor / hanteringsarm är "mer värmebeständig", "mindre avböjande" och "lättare" i vikt jämfört med metall.
Som en ledande tillverkare av keramiska ändeffektor / Handling Arm har vi utvecklat en okonventionell End Effector / Handling Arm som svarar mot marknadens behov.Bernoullis principbaserade keramiska End Effector / Handling Arm som kan sväva och transportera wafern via luftflöde med minimal perifer kontakt.