12-tums vakuumchuck av aluminiumoxid för 300 mm waferbearbetning
St.Ceras 12-tums vakuumchuck är precisionstillverkad av 99,8 % högren aluminiumoxid (Al₂O₃) för hantering av wafers på 300 mm. Chucken har en fint räfflad yta (spårbredd 0,5–1,0 mm, stigning 2–3 mm) för att säkerställa jämn vakuumfördelning över hela 300 mm diametern. Planheten bibehålls inom 5 μm, vilket möjliggör vridfri waferfixering under tärning, baksideslipning och inspektion. Materialets höga böjhållfasthet (361 MPa) och hårdhet (16 GPa) garanterar långsiktig dimensionsstabilitet även under upprepade vakuumcykler.
Specifikationer (baserat på 99,8 % Al₂O₃):
| Egendom | Värde |
| Diameter | 300 mm (12 tum) |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Planhet (över 300 mm) | ≤5 μm |
| Spårbredd | 0,5–1,0 mm |
| Max driftstemperatur | 800°C |
| Dielektrisk styrka | 15×10⁶ V/m |
Användningsområden:
300 mm wafer-tärning och ritsning
Slipning av skivans baksida (stöd för tunna skivor)
Optisk inspektion och sondering
Tillfälliga bindnings-/avbindningschuckar
Tillverkning:
CNC-slipat och läppat till slutlig planhet, spårfräst med diamantskivor, ultraljudsrengjort och förpackat i renrum av klass 100. Varje chuck inspekteras 100 % för planhet (laserinterferometer) och spårdjup (profilometer).
Fördelar:
Låg partikelgenerering (≤0,05 partiklar/cm²)
Kemiskt inert mot lösningsmedel och syror
ESD-säker yta (resistivitet >10¹³ Ω·cm)
Anpassade vakuumhålmönster och bakre portar tillgängliga.
