+86 17752847642
info@stcera.com
bella@stcera.com
page_banner

ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm

ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm Utvald bild
  • ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm
  • ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm
  • ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm
  • ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm

ST.CERA Anpassad 99,5 % aluminiumoxid keramisk lastarm

Kort beskrivning:

Keramisk ändeffektor / hanteringsarm installeras på waferhanteringsrobot eller "ändeffektorer" och används för att bära kiselwafers in i eller ut ur kassetter eller processkammare.
Fördelarna med att använda keramik är minskning av nedböjning på grund av hög böjhållfasthet, motståndskraft mot höga temperaturer och eliminering av metallföroreningar och partiklar.


Produktdetalj

Produkttaggar

Produktinformation

Med egenskaper av hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, nötningsbeständighet och isolering, kan keramik fungera i många typer av halvledarproduktionsutrustning med tillstånd av hög temperatur, vakuum eller korrosiv gas under lång tid.

Tillverkad av aluminiumoxidpulver av hög renhet, bearbetad genom kall isostatisk pressning, högtemperatursintring och precisionsfinishing, kunde den keramiska End Effector nå dimensionstoleransen till ±0,001 mm, ytfinish Ra 0,1, temperaturbeständighet 1600 ℃.

Den keramiska ändeffektorn med kavitet kan arbeta i en hög temperatur på 800 ℃ tack vare unik keramisk bindningsteknik.

Här är egenskaperna hos aluminiumoxidkeramik med olika renhet.

produktparametrar

logotyp

ST.CERA CO., LTD.

Materialdatablad

Egenskaper Enhet Aluminiumoxid (Al2O3)
99% Al2O3 99,5 % Al2O3 99,8 % Al2O3 99,9% Al2O3
Färg — Vit Elfenben Elfenben Elfenben
Densitet g/cm3 3,88 3,90 3,93 3,95
Vatten absorption % 0 0 0 0
Kornstorlek μm 2~5 2~5 2~5 2~4
Böjhållfasthet MPa 350 360 361 350
Frakturseghet MPa·m1/2 3~4 3~4 3~4 3~4
Vickers hårdhet GPa 14 15.5 16 16
Youngs elasticitetsmodul GPa 370 370 380 390
Värmeledningsförmåga W/m·k 28 32 32 34
Termisk expansionskoefficient 10-6/℃ 7.2 7.2 7.2 7.2
Dielektrisk konstant — 9.5 9.6 9.6 9.9
Dielektrisk förlustvinkel — 0,0001 0,0001 0,0001 0,0001
Dielektrisk styrka V/m 15×106 15×106 15×106 15×106
Specifik motstånd Ω ·mm2/m ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014 ﹥ 1014

Produktionsprocess

Spraygranulering → keramiskt pulver → Formning → Blanksintring → Grovslipning → CNC-bearbetning → Finslipning → Dimensionsinspektion → Rengöring Packning

Viktiga detaljer

Ursprungsort: Hunan, Kina
Material: Aluminiumoxid Keramik
HS-kod: 85471000
Leveransförmåga: 100 st per månad
Ledtid: 3-4 veckor
Förpackning: Korrugerad låda, skum, kartong
Övrigt: Anpassningstjänst tillgänglig

  • Tidigare:
  • Nästa:

    • Relaterade produkter