Aluminium PVD-isoleringsring för fysiska ångdeponeringssystem
St.Ceras PVD-isoleringsring är tillverkad av 99,8 % högren aluminiumoxid (Al₂O₃) för användning i PVD-system (fysisk ångavsättning). Ringen ger elektrisk isolering mellan kammarkomponenter, vilket förhindrar ljusbågsbildning och säkerställer stabil plasmadrift. Viktiga egenskaper inkluderar hög dielektrisk hållfasthet (15×10⁶ V/m), specifik resistans >10¹⁴ Ω·mm²/m och termisk stabilitet upp till 1600°C. Våra precisionsbearbetningsmöjligheter uppnår ytterdiametrar upp till 600 mm, innerdiametrar ner till 0,2 mm, planhet på 0,003 mm och ytfinish Ra0,1. Ringens nollporositet och kemiska inertitet säkerställer långsiktig tillförlitlighet i aggressiva sputtermiljöer.
Specifikationer (baserat på 99,8 % aluminium)₂O₃& St.Ceras tillverkningskapacitet):
| Egendom | Värde |
| Material | 99,8 % aluminiumoxid (elfenben) |
| Densitet | 3,93 g/cm³ |
| Böjhållfasthet | 361 MPa |
| Vickers hårdhet | 16 GPa |
| Dielektrisk styrka | 15×10⁶ V/m |
| Specifikt motstånd | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Max ytterdiameter | 600 mm |
| Minsta innerdiameter | 0,2 mm |
| Max tjocklek | 100 mm |
| Flathet | 0,003 mm |
| Parallellism | 0,002 mm |
| Ytbehandling | Ra0,1 |
| Max driftstemperatur | 1600°C |
Användningsområden:
- · Rikta in sig på isolatorer för stödplattor i PVD-system
- · Genomföringsisolatorer för kammaren
- · Skärmringsisolatorer i sputteringssystem
- · Högspänningsisolering i plasmakammare
Tillverkningsprecision:
Koncentricitet: 0,01 mm, rundhet: 0,002 mm, rakhet: 0,005 mm, vinkelräthet: 0,005 mm, verifierad med CMM.
AFördelar jämfört med polymerisolatorer:
- · Tål 1600°C jämfört med polymerens gräns <300°C
- · Ingen avgasning – bibehåller vakuumintegriteten
- · Motstår plasmaerosion och kemiska attacker
Anpassning:
Anpassade tvärsnitt, monteringsfunktioner, stegprofiler och flera koncentriska ringdesigner tillgängliga.
